超精密加工:納米級(jí)加工
納米級(jí)加工的含義
納米級(jí)加工的含意是達(dá)到納米級(jí)精度,包含:納米級(jí)尺寸精度,納米級(jí)幾何形狀精度、納米級(jí)表面質(zhì)量。
納米級(jí)加工的特點(diǎn)
1、欲得到l nm的加工精度,加工的最小單位必然在亞納米級(jí)。由于原子間的距離為0.1-0.3nm,納米級(jí)加工實(shí)際上已到加工精度的極限
2、納米級(jí)加工中試件表面的一個(gè)個(gè)原于或分子將成為直接的加工對(duì)象,因此納米級(jí)加工的物理實(shí)質(zhì)就是要切斷原子間的結(jié)合,實(shí)現(xiàn)原子或分子的去除。
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